高光時刻丨張大成教授獲2020年度上海市科學技術發明獎一等獎

Time： 2021-09-24 admin

近日，上海市政府日前公佈了2020年度上海市科學技術獎獲得者名單。集成電路科學與未來技術bbin宝盈集团張大成教授參與的項目「高效單面加工MEMS規模製造關鍵技術」獲得2020年度上海市科學技術發明獎一等獎（個人排名第3，單位排名第2）。

張大成教授參與的「高效單面加工MEMS規模製造關鍵技術」項目，針對我國長期存在的MEMS量產難、檢測難和封裝難的問題，在國家973等項目支持下，產學研用結合，發明了高效單面加工MEMS規模製造關鍵技術。該發明成果實現了底層傳感器核心晶片規模製造技術的突破，對解決傳感器晶片嚴重受制於人的卡脖子難題，具有顯著的戰略意義。